陕西(C)双层碲化和硫化的LiSEI结构示意图。
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在所有压力传感器中,清洁千瓦压阻式传感器由于其相对简易的原理、结构和制备工艺吸引了大量研究者的关注。而随着大量各式纳米、替代微/纳复合材料已被充分开发,替代以及器件各型宏观堆叠架构的充分改良,单纯基于结构优化理念的传统压阻式传感器件设计手段愈发难以支撑器件综合性能的大幅有效提升。
在广大研究者的努力下,电量尽管压力传感器的量程及灵敏度得以持续改善,电量然而迄今为止,压阻式传感器件的优化理念均基于结构优化的思想,即通过精巧的结构设计,以充分增大器件传感区域的接触面积(导电通道)随压力的变化量,从而带来器件灵敏度的提升。清华大学朱宏伟教授课题组、规模吴爱萍教授课题组亦参与到本研究。